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半导体行业专用仪器
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Trymax等离子灰化和蚀刻NEO200A平台
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TRYMAX等离子除胶机NEO3000
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其他
亚科电子-超高分辨率电子束光刻EBL
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PICOSUN®R-200高级ALD镀膜设备
PICOSUN®Morpher原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-1000原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-300S原子层沉积系统ALD
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光学仪器及设备
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA -XM
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA -GM
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA
场发射扫描电镜MIRA-LM
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场发射扫描电镜MIRA-GM
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ContourX-500 3D计量的全自动台式
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ContourX-100 3D粗糙度测量精简而经济
ContourX-100 3D光学轮廓仪
多功能材料力学测试系统UMT
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Bruker布鲁克Dektak XT桌面型探针式表面轮廓仪
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美国MARCH AP-300等离子系统—紧凑型、桌面式
美国MARCH AP-1000等离子清洗系统
MARCH AP-600等离子系统紧凑型、桌面式
研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570
法国IBS IMC210中束流离子注入机
AP-600等离子系统-紧凑型、桌面式等离子处理设备
SPTS深硅刻蚀设备
RAITH电子束曝光设备
RIE反应离子刻蚀SI 591
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀SI 500
X射线仪器
Nordson Dage Quadra™ 3 X-射线检测系统
Nordson Dage X-射线检测系统XD7800NT
Quadra™ 7 X-射线检测系统
Nordson Dage Quadra™ 5 X-射线检测系统
Nordson DAGE Quadra X光检查机
QC3高分辨率X射线衍射仪
Jordan Valley Delta-X多功能的X射线衍射设备
X射线单晶衍射仪
比表面积测定仪
Hysitron TI定量纳米力学研究
布鲁克BRUKER纳米力学测试设备Bruker TI 950
Bruker Hysitron TI 980纳米压痕仪
Hysitron TS 77 Select纳米压痕仪
布鲁克高精度纳米力学测试系统TI 980
Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex
无损检测/无损探伤仪器
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Sonoscan D9600 C-SAM超声波扫描显微镜
Sonoscan超声波扫描显微镜Gen7 C-SAM检测系统
Nordson Dage Quadra 5 X-射线检测系统
Quadra系列X射线检测系统
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Nordson DAGE 3800+焊接强度测试仪
摩擦磨损试验机UMT-TriboLab
芯片系统
微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机
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产品系列
产品描述
DISCOVERY 635/785 多耙直流/射频磁控溅射台
丹顿真空的Discovery系列在世界许多**的研究机构得到广泛的应用,是业内公认的灵活、可靠的磁控溅射系统。从15年前开发以来,该系统已经销售超过100台,在国内销售12台。
Discovery®系列适合于研发及小批量生产。系统采用独特的共焦溅射结构,能够使用较小的磁控溅射靶枪在较大的面积的工件上得到较好的均匀性(例如:采用传统的垂直溅射方式,为了在6英寸工件上得到±5%的均匀性,需要使用8英寸直径靶枪,而采用共焦溅射方式,则可以采用3英寸磁控溅射靶枪,即可达到同样的均匀性指标)。因此在同样的要求下,采用的靶枪及电源相对较小,所以能够降低设备成本及运行成本,同时,丹顿真空也提供传统的垂直溅射方式系统。
Discovery® 系列都可以安装多个磁控溅射靶枪,可以实现多种溅射模式,包括直流/射频/脉冲溅射,共溅射,射频偏压溅射;可以实现三级加热,**加热温度可以达到900 °C;可以配置进样室(单片或多片),**可以处理的工件直径可以达到 250mm ;系统真空室规格从18英寸(457mm)到 35英寸(890mm)可选;高真空采用分子泵或低温泵获得;可以采用PLC触摸屏控制系统或计算机控制系统。
系统主要配置:
※ 多耙直流/射频磁控溅射
※ 旋转工作台(可以升级为射频偏压工件台)
※ 上溅射或下溅射可选
※ 不锈钢真空室,带观察窗