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半导体行业专用仪器
CAMTEK自动光学检验EagleT-i
CAMTEK自动光学检验Eagle-AP
CAMTEK自动光学检验Eagle-I
CAMTEK半导体AOI设备
Trymax等离子灰化和蚀刻NEO200A平台
Trymax等离子灰化和蚀刻NEO300A平台
Trymax先进等离子灰化和蚀刻
TRYMAX等离子除胶机Neo2000
TRYMAX等离子除胶机NEO3000
TRYMAX等离子除胶机NEO2400
其他
亚科电子-超高分辨率电子束光刻EBL
超高分辨率的电子束光刻
亚科电子-超高分辨率的电子束光刻
电子束光刻
电子束光刻系统(EBL)
PICOSUN®R-200高级ALD镀膜设备
PICOSUN®Morpher原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-1000原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-300S原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-300BV原子层沉积系统ALD
光学仪器及设备
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA -XM
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA -GM
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA
场发射扫描电镜MIRA-LM
场发射扫描电镜MIRA XM
场发射扫描电镜MIRA- GM
场发射扫描电镜MIRA-GM
钨灯丝扫描电镜VEGA-SB
钨灯丝扫描电镜VEGA-SBU - EasyProbe
钨灯丝扫描电镜VEGA LM
测量/计量仪器
三维光学显微镜
ContourX-500 3D计量的全自动台式
ContourX-500 3D光学轮廓仪
ContourX-200 3D光学轮廓仪
ContourX-100 3D粗糙度测量精简而经济
ContourX-100 3D光学轮廓仪
多功能材料力学测试系统UMT
ContourGT-K 3D光学显微镜
探针式表面轮廓仪
Bruker布鲁克Dektak XT桌面型探针式表面轮廓仪
制样/消解设备
美国MARCH AP-300等离子系统—紧凑型、桌面式
美国MARCH AP-1000等离子清洗系统
MARCH AP-600等离子系统紧凑型、桌面式
研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570
法国IBS IMC210中束流离子注入机
AP-600等离子系统-紧凑型、桌面式等离子处理设备
SPTS深硅刻蚀设备
RAITH电子束曝光设备
RIE反应离子刻蚀SI 591
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀SI 500
X射线仪器
Nordson Dage Quadra™ 3 X-射线检测系统
Nordson Dage X-射线检测系统XD7800NT
Quadra™ 7 X-射线检测系统
Nordson Dage Quadra™ 5 X-射线检测系统
Nordson DAGE Quadra X光检查机
QC3高分辨率X射线衍射仪
Jordan Valley Delta-X多功能的X射线衍射设备
X射线单晶衍射仪
比表面积测定仪
Hysitron TI定量纳米力学研究
布鲁克BRUKER纳米力学测试设备Bruker TI 950
Bruker Hysitron TI 980纳米压痕仪
Hysitron TS 77 Select纳米压痕仪
布鲁克高精度纳米力学测试系统TI 980
Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex
无损检测/无损探伤仪器
超声波扫描显微镜:C-SAM检测系统
Sonoscan D9600 C-SAM超声波扫描显微镜
Sonoscan超声波扫描显微镜Gen7 C-SAM检测系统
Nordson Dage Quadra 5 X-射线检测系统
Quadra系列X射线检测系统
试验机
Nordson DAGE 4000Plus 焊接强度测试仪
Nordson DAGE 3800+焊接强度测试仪
摩擦磨损试验机UMT-TriboLab
芯片系统
微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机
联系方式 |
产品系列
场发射扫描电镜 MIRA
MIRA3 GM是一款完全由计算机控制的场发射扫描电子显微镜,可在高真空和低真空模式下操作,其具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
配件:
· 二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
· 可移动式背散射电子探头(RBSE)*,可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率(0.1Z)
· 低真空二次电子探头
· 探针电流测量
· 压差式防碰撞报警装置
· 可观察样品室内部的红外线摄像头
等,各种配件可供选择
概述:
分析潜力
· GM样品室配备有5轴马达驱动的全计算机化优中心样品台,**的几何设计更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)
· 优化几何设计的许多接口,更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)和其他探头
· 一流YAG闪烁器式探头
· 可选各种探头和配件
· 在涡轮分子泵和无油干式泵的工作下,几分钟就可以达到仪器工作需要的真空,电子枪的真空度由离子泵保持
· 在低真空模式下可以观测不导电的样品,观测磁性样品的效果非常好
· 可选样品室大小与镜筒防振方式
MIRA3配置MIRA3 GMH大样品室高真空式电镜,配备有可选的马达驱动样品台,适合观测导电的样品。MIRA3 GMU可变真空式SEM,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品,不需要喷金。
软件:标配:
· 测量
· 图象处理
· 3维扫描
· 硬度测量
· 多图像校准
· 对象区域
· 自动关机时间
· 公差
· 编程软件
· 定位
· 投影面积
· EasySEMTM
选配:根据实际配置和需求