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半导体行业专用仪器
CAMTEK自动光学检验EagleT-i
CAMTEK自动光学检验Eagle-AP
CAMTEK自动光学检验Eagle-I
CAMTEK半导体AOI设备
Trymax等离子灰化和蚀刻NEO200A平台
Trymax等离子灰化和蚀刻NEO300A平台
Trymax先进等离子灰化和蚀刻
TRYMAX等离子除胶机Neo2000
TRYMAX等离子除胶机NEO3000
TRYMAX等离子除胶机NEO2400
其他
亚科电子-超高分辨率电子束光刻EBL
超高分辨率的电子束光刻
亚科电子-超高分辨率的电子束光刻
电子束光刻
电子束光刻系统(EBL)
PICOSUN®R-200高级ALD镀膜设备
PICOSUN®Morpher原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-1000原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-300S原子层沉积系统ALD
PICOSUN®P-300BV原子层沉积系统ALD
光学仪器及设备
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA -XM
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA -GM
聚焦离子束(Xe)扫描电镜FERA
场发射扫描电镜MIRA-LM
场发射扫描电镜MIRA XM
场发射扫描电镜MIRA- GM
场发射扫描电镜MIRA-GM
钨灯丝扫描电镜VEGA-SB
钨灯丝扫描电镜VEGA-SBU - EasyProbe
钨灯丝扫描电镜VEGA LM
测量/计量仪器
三维光学显微镜
ContourX-500 3D计量的全自动台式
ContourX-500 3D光学轮廓仪
ContourX-200 3D光学轮廓仪
ContourX-100 3D粗糙度测量精简而经济
ContourX-100 3D光学轮廓仪
多功能材料力学测试系统UMT
ContourGT-K 3D光学显微镜
探针式表面轮廓仪
Bruker布鲁克Dektak XT桌面型探针式表面轮廓仪
制样/消解设备
美国MARCH AP-300等离子系统—紧凑型、桌面式
美国MARCH AP-1000等离子清洗系统
MARCH AP-600等离子系统紧凑型、桌面式
研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570
法国IBS IMC210中束流离子注入机
AP-600等离子系统-紧凑型、桌面式等离子处理设备
SPTS深硅刻蚀设备
RAITH电子束曝光设备
RIE反应离子刻蚀SI 591
ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀SI 500
X射线仪器
Nordson Dage Quadra™ 3 X-射线检测系统
Nordson Dage X-射线检测系统XD7800NT
Quadra™ 7 X-射线检测系统
Nordson Dage Quadra™ 5 X-射线检测系统
Nordson DAGE Quadra X光检查机
QC3高分辨率X射线衍射仪
Jordan Valley Delta-X多功能的X射线衍射设备
X射线单晶衍射仪
比表面积测定仪
Hysitron TI定量纳米力学研究
布鲁克BRUKER纳米力学测试设备Bruker TI 950
Bruker Hysitron TI 980纳米压痕仪
Hysitron TS 77 Select纳米压痕仪
布鲁克高精度纳米力学测试系统TI 980
Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex
无损检测/无损探伤仪器
超声波扫描显微镜:C-SAM检测系统
Sonoscan D9600 C-SAM超声波扫描显微镜
Sonoscan超声波扫描显微镜Gen7 C-SAM检测系统
Nordson Dage Quadra 5 X-射线检测系统
Quadra系列X射线检测系统
试验机
Nordson DAGE 4000Plus 焊接强度测试仪
Nordson DAGE 3800+焊接强度测试仪
摩擦磨损试验机UMT-TriboLab
芯片系统
微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机
联系方式 |
产品系列
钨灯丝扫描电镜 VEGA
VEGA3 LM是一款由计算机控制,可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。
· 概述
分析潜力:
· LM大样品室、5轴马达驱动样品台
· 样品室有11个接口,适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头
· 一流YAG 闪烁体探头
· 选配包括了各种探头于可选的配件
· 涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟可达到仪器操作需要的真空状态
· 在可变真空模式下可观测不导电的样品(LMU型号)
· 可选的样品室减振方式
· 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH高真空式SEM,配备有5轴马达驱动样品台,适用于观测小型导电样品。
VEGA3 LMU可变真空式SEM,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品,不需要喷金。
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钨灯丝扫描电镜 VEGA
· VEGA3 SB
· VEGA3 SB - EasyProbe
· VEGA3 LM
· VEGA3 XM
· VEGA3 GM
产品列表
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应用实例
更多图片
· 软件
标配:
· 测量
· 图象处理
· 3维扫描
· 硬度测量
· 多图像校准
· 对象区域
· 自动关机时间
· 公差
· 编程软件
· 定位
· 投影面积
· EasySEMTM
选配:
根据实际配置和需求
·
· 技术规格
Electron Gun: | 钨灯丝/LaB6 |
Resolution: | 高真空(SE):3 nm @ 30 kV / 2 nm @ 30 kV8 nm @ 3 kV / 5 nm @ 3 kV低真空模式(LVSTD,BSE):3.5 nm @ 30 kV / 2.5 nm @ 30 kV |
Magnification: | 2~1,000,000x |
Maximum Field of View: | |
Accelerating Voltage: | 从200 V 至 30 kV |
Probe Current: | |
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· 配件
标配:
· 二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
· 可移动式背散射电子探头(RBSE)*,可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率(0.1Z)
· 探针电流测量
· 压差式防碰撞报警装置
· 可观察样品室内部的红外线摄像头
· 冷台
· 等,各种附件可供选择
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